該設備專為中高產(chǎn)量環(huán)境設計，可靠性高，配有薄膜控制面板。其 10 英寸 [254 毫米] 的磨盤非常適合直徑達 1.5 英寸 [38 毫米] 的樣品，并可與多達 5 個Burst拋光液配送模塊兼容，實現(xiàn)單個拋光步驟的自動化。