XY中空定位平臺搭配無鐵心線性馬達(dá)，輕量化，大中空結(jié)構(gòu)設(shè)計，可進(jìn)行雙面加工，放入光學(xué)檢查機(jī)構(gòu)，適用于面板貼合、精密印刷、晶圓定位、AOI檢測。