XY中空定位平臺搭配無鐵心線性馬達，輕量化，大中空結(jié)構(gòu)設(shè)計，可進行雙面加工，放入光學檢查機構(gòu)，適用于面板貼合、精密印刷、晶圓定位、AOI檢測。