無塵系列模組在高科技半導(dǎo)體、食品生產(chǎn)設(shè)備擁有極高的信賴度，并有效的減少對產(chǎn)品的污染破壞。其主要用于干凈室內(nèi)的工作定位、夾取、搬運(yùn)、插件等產(chǎn)能自動化。運(yùn)用范圍有貼片裝置、構(gòu)裝裝置、測試裝置、檢查裝置。應(yīng)用到的產(chǎn)業(yè)有半導(dǎo)體設(shè)備和FPD產(chǎn)業(yè)設(shè)備。